Sistema di deposizione ionica multi-arco

The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >Ionizzazione dell'80% del materiale catodico solido, che determina un bombardamento di ioni ad alta-energia nell'interfaccia del substrato per un'adesione della pellicola superiore rispetto allo sputtering del magnetron.

La camera a vuoto in acciaio inossidabile-a doppia parete-ospita sorgenti ad arco modulari e un ciclo automatizzato-controllato da PLC che gestisce il pumpdown-, l'incisione al plasma in-situ, l'erogazione di gas reattivo e la deposizione multi-strato.

Alto tasso di ionizzazione:Riduce al minimo la delaminazione della pellicola tramite il bombardamento di ioni densi.

Stabilità dell'arco controllata:I trigger programmabili e la regolazione della corrente a circuito chiuso- sopprimono la formazione di macroparticelle (goccioline) e prevengono l'avvelenamento del bersaglio in presenza di gas reattivi (N2, C2H2, O2).

Sorgenti ad arco modulare:I posizionamenti dei lati e delle porte si adattano alle complesse geometrie degli utensili 3D per una distribuzione uniforme dello spessore.

Bias substrato pulsato:Gli impulsi di tensione sincronizzati adattano lo stress residuo, l'affinamento del grano e la microdurezza.

Fasi della rotazione-per impieghi gravosi:I dispositivi planetari supportano carichi batch fino a 500 kg con carichi termici e di vuoto elevati.

Sgrossatura e radici:Le pompe a vite a secco multi-abbinate alle soffianti Roots prevengono la contaminazione da idrocarburi fino alle pressioni di transizione.

Alto vuoto:Le pompe turbomolecolari o a diffusione sostengono una pressione di base ultra-elevata.

Intrappolamento e misurazione:Trappole fredde ad azoto liquido opzionali; misuratori combinati Pirani/catodo freddo ad ampio-gamma.

Obiettivi del catodo:Target in metalli puri (Ti, Cr, Al, Zr, Mo, W) e leghe (TiAl, TiSi, CrAl, WC-Co).

Materiali del substrato:Acciaio super-rapido (HSS), inserti in metallo duro, acciai per utensili per lavorazioni a freddo/caldo (SKD11, H13), acciaio inossidabile e leghe di titanio.

Pre-trattamento:Pulizia acquosa a ultrasuoni seguita da incisione con bombardamento di Ar+ in-situ o ioni metallici per rimuovere gli ossidi nativi.

Utensili da taglio:TiN, TiAlN, and AlCrN coatings on end mills and drills to achieve >Durezza superficiale e resistenza all'ossidazione 3000 HV.

Stampi e matrici:Strati protettivi su stampi a iniezione e matrici per stampaggio per prevenire grippaggi e usura abrasiva.

Automotive:Rivestimenti DLC e CrN su fasce elastiche, ingranaggi e perni degli iniettori per ridurre i coefficienti di attrito.

Dispositivi Medici:Rivestimenti biocompatibili TiN/TiCN su strumenti chirurgici e impianti.

Dimensioni della camera e disposizione delle porte:Porte personalizzate per il monitoraggio del volume e delle emissioni ottiche (OEM).

Generatori:Marche di alimentatori-specificate dal cliente o configurazioni specializzate di polarizzazione-a impulsi.

Filtrazione:Campi guida magnetici e filtri macroparticellari per finiture ottiche/elettroniche a-zero gocce.

Automazione:Integrazione SCADA e connettività al database SQL per la registrazione dei dati di Industria 4.0.

Test di tenuta:Test con spettrometro di massa ad elio su tutte le saldature (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s).

Sicurezza elettrica:Verifica della resistenza di isolamento, messa a terra e interblocco secondo gli standard CE/NFPA.

Prova di funzionamento funzionale:Test meccanico e di ciclo delle valvole continuo di 72 ore.

Verifica del processo:Test su coupon di riferimento per la durezza della nanoindentazione e l'adesione ai graffi.

Pre-installazione:Progetti di layout delle utenze forniti per energia elettrica, acqua, scarico e aria compressa.

Messa in servizio:Configurazione in loco e prove di prova supervisionate da ingegneri di fabbrica.

Formazione:Formazione pratica-sul funzionamento, sostituzione del catodo e manutenzione ordinaria.

Cura del ciclo di vita:Diagnostica remota VPN sicura e fornitura locale di pezzi di ricambio.