Panoramica del prodotto
Apparecchiature industriali per la placcatura ionica multi-arco progettate per l'applicazione di rivestimenti duri, pellicole funzionali e finiture PVD decorative su componenti di precisione. Utilizzando una scarica ad arco sotto vuoto ad alta-corrente e bassa-tensione, il sistema vaporizza direttamente i materiali target solidi (Ti, Cr, Al, Zr). Se combinato con gas reattivi (N2, O2, C2H2), sintetizza nitruri, carburi e ossidi di metalli di transizione densi direttamente su substrati metallici.
Costruita su un'architettura modulare della camera a vuoto, questa soluzione PVD chiavi in mano si adatta a diverse scale di produzione-dall'elaborazione batch di ricerca e sviluppo alla produzione in linea automatizzata e ad alta-produttività. Il sistema è ottimizzato per un elevato utilizzo target e un basso costo totale di proprietà (TCO) in ambienti industriali continui 24 ore su 24, 7 giorni su 7.
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Specifiche tecniche
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Parametro |
Gamma di specifiche |
Unità/Nota |
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Dimensioni della camera |
Da Ф600 x 600 a Ф1500 x 1800 |
mm (Configurazioni verticali o orizzontali personalizzate) |
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Massima pressione del vuoto |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (pompa a secco + turbo-molecolare/set diffusione olio) |
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Sorgenti ad arco catodico |
Da 4 a 16 unità |
Sorgenti d'arco elettromagnetiche guidate o filtrate (FCA) |
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Potere di polarizzazione del substrato |
Da 0 a -1000 |
V (capacità di polarizzazione DC/MF pulsata avanzata) |
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Temperatura di riscaldamento |
Temperatura ambiente a 600 |
C (riscaldatori radianti controllati PID) |
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Uniformità della deposizione |
<= +/- 5% |
Misurato tramite XRF attraverso la zona di lavoro effettiva |
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Sistema di controllo |
PLC+PC industriale |
Esecuzione automatizzata delle ricette, registrazione dei dati SCADA |
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Sicurezza e conformità |
CE, ISO 9001 |
Armadi elettrici conformi a UL-disponibili su richiesta |
La sequenza di deposizione fisica del vapore funziona secondo un rigoroso flusso di lavoro automatizzato a ciclo chiuso-per garantire la ripetibilità da batch-a-lotto:
Evacuazione e degassamento:
La camera a vuoto viene pompata fino a una pressione di base di<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Incisione al plasma (bombardamento):
Viene introdotto il gas argon. Al supporto del substrato viene applicata una polarizzazione negativa elevata, che genera ioni Ar che bombardano la superficie per eliminare ossidi nativi e micro-contaminanti.
Evaporazione e ionizzazione ad arco:
La corrente dell'arco CC colpisce il catodo metallico solido. Il punto catodico locale raggiunge una densità di energia estrema, vaporizzando istantaneamente il materiale target in un flusso di plasma ad alta-densità (tasso di ionizzazione > 80%).
Deposizione reattiva:
I gas reattivi vengono iniettati nel flusso di plasma a pressioni parziali controllate con precisione tramite controllori di flusso di massa (MFC), formando pellicole composte stechiometriche su substrati rotanti.
Raffreddamento e ventilazione:
Il raffreddamento controllato avviene sotto protezione di gas inerte prima dello sfiato della camera, prevenendo l'ossidazione delle parti appena rivestite.
Materiali della pellicola e proprietà del rivestimento
Il sistema supporta disposizioni multi-catodi metallici, consentendo architetture di film monostrato, multistrato, nano-composite e a gradiente:
TiN (nitruro di titanio):
Rivestimento dorato standard; durezza 2200–2400 HV; coefficiente di attrito 0,4. Utilizzo principale: utensili da taglio generali e parti meccaniche soggette ad usura.
TiAlN (nitruro di titanio e alluminio):
Resistenza all'ossidazione alle alte-temperature fino a 850 C; durezza 3000–3300 HV. Utilizzo principale: inserti per lavorazione a secco ad alta-velocità e valvole per motori.
CrN / CrAlN (nitruro di cromo):
Eccellente resistenza alla corrosione e basso stress interno; proprietà anti-grippanti contro i metalli non-ferrosi. Utilizzo primario: stampi per formatura, fasce elastiche e componenti di macchine tessili.
ZrN/TiCN:
Bassa rugosità superficiale (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Applicazioni
Utensili da taglio di precisione:
Frese, punte, creatori e inserti indicizzabili che richiedono una durata utensile prolungata in presenza di carichi termici elevati.
01
Gruppo propulsore automobilistico:
Spinotti di pistoni, punterie, componenti di iniezione del carburante e superfici di ingranaggi che richiedono una ridotta resistenza all'attrito e allo sfregamento.
02
Stampi e matrici:
Stampi per iniezione plastica, matrici per stampaggio e inserti per pressofusione-che richiedono resistenza all'usura adesiva e alla fatica termica.
03
Componenti aerospaziali:
Pale di turbine e dispositivi di fissaggio in titanio che operano in ambienti aggressivi, corrosivi e ad alto-stress.
04
Personalizzazione e configurazione del sistema
Gli articoli del catalogo standard raramente si adattano perfettamente ai layout di fabbrica dedicati. Le configurazioni delle apparecchiature sono personalizzate in base alla geometria specifica dei componenti, agli obiettivi del tempo di ciclo e ai vincoli della struttura:
Geometria della camera:
Camere ottagonali o cilindriche in acciaio inossidabile (SUS304/SUS316L) dotate di camicie di raffreddamento ad acqua-a doppia parete.
Layout sorgente:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Fissaggio del substrato:
Meccanismi di rotazione planetaria (3-assi) o di rotazione singola azionati da fluidi magnetici per garantire una copertura uniforme del rivestimento su geometrie 3D complesse.
Opzioni dello stack di pompaggio:
Soffiatori Roots, pompe rotative a palette, pompe criogeniche o pompe turbomolecolari configurate per soddisfare rigorosi tempi di ciclo di pompaggio-down.
Protocolli di controllo e test di qualità
Ogni macchina viene sottoposta a severi test di accettazione in fabbrica (FAT) prima della spedizione, documentati per la revisione dell'acquirente:
01
Test di integrità del vuoto:
Rilevamento delle perdite di elio mediante spettrometria di massa (velocità di perdita<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Sicurezza elettrica e burn-in:
Funzionamento a secco continuo di 72 ore di alimentatori, interblocchi di raffreddamento ad acqua e logica di automazione PLC.
03
Verifica del rivestimento (laboratorio interno-):
I campioni sono stati testati tramite test Calo- (spessore della pellicola), indentazione Rockwell (forza di adesione) e nanoindentazione (durezza).
Installazione, messa in servizio e supporto tecnico
Linee guida per la preparazione del sito:
Sono stati forniti disegni dettagliati del layout delle utenze per i requisiti di flusso/pressione dell'acqua di raffreddamento, aria compressa, ventilazione di scarico e sbarre elettriche.
SAT e messa in servizio:
Installazione in-luogo (Site Acceptance Testing), calibrazione del vuoto e consegna delle ricette di base eseguite da ingegneri di processo PVD senior.
Formazione sul processo:
Formazione pratica-per gli operatori su programmi di sostituzione del catodo, manutenzione preventiva del vuoto, risoluzione dei problemi e ottimizzazione delle ricette di base.
Supporto per pezzi di ricambio:
Componenti critici soggetti a usura (catodi, schermi, isolanti e guarnizioni) stoccati per la spedizione globale entro 48 ore.
Domande frequenti
Siamo ben-noti come uno dei principali produttori e fornitori di apparecchiature multi-ioniche a film sottile in Cina. Se hai intenzione di acquistare apparecchiature a film sottile multi-arco ionico personalizzate prodotte in Cina, ti invitiamo a ricevere il listino prezzi dalla nostra fabbrica. Per una consulenza sui prezzi, contattateci.
