Attrezzatura a film sottile PVD multi-arco

Il sistema PVD industriale multi-arco utilizza la deposizione fisica di vapore ad arco catodico ad alta-ionizzazione per depositare rivestimenti duri stechiometrici densi (come TiN, TiAlN, CrN e DLC) su substrati metallici. Progettato per centri di rivestimento a contratto ad alto-volume e linee di produzione vincolate, questo sistema ottimizza la resistenza all'usura, la riduzione dell'attrito e la stabilità termica per i componenti di precisione.

Sorgenti dell'arco catodico filtrate:Il filtraggio magnetico riduce al minimo la generazione di macroparticelle (goccioline), ottenendo finiture superficiali più lisce (Ra < 0,1 um).

Configurazione del magnetron sbilanciato in campo chiuso-: Enhances substrate-zone plasma density, achieving film adhesion scratch-test critical load Lc >= 80 N.

Doppia-regolazione del flusso di gas:Controllo con feedback a circuito chiuso-utilizzando manometri capacitivi e MFC ad alta-precisione per gas reattivi (N2, C2H2, O2).

Sorgenti di deposizione modulare:I layout planari e cilindrici intercambiabili consentono un rapido cambio di target per architetture multi-livello.

Pompa per sgrossatura:Supporto meccanico a palette rotanti o vite a secco per eliminare il riflusso dell'olio.

Pompa per alto vuoto: Magnetic levitation turbo molecular pump (>= 3200 L/s) abbinato ad un soffiatore per radici.

Guarnizioni e valvole:Valvole a saracinesca pneumatiche, flange ISO-F/CF con guarnizioni in Viton/metallo; Tasso di perdita dello spettrometro di massa di elio < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Monitoraggio della pressione:Misuratori combinati di ionizzazione Pirani e catodo freddo.

Obiettivi catodici standard:Ti, Al, Cr, TiAl, Zr, Cu, Graphite (purity >= 99.95%).

Materiali del substrato:Carburi cementati (WC-Co), HSS, acciai legati (SKD11, 40Cr), leghe di titanio (Ti-6Al-4V) e acciaio inossidabile (304, 316L).

Pre-trattamento:Richiede lo sgrassaggio a ultrasuoni e l'attacco con ioni di plasma di argon in-situ (bombardamento con Ar+) per eliminare gli ossidi superficiali prima della deposizione.

Strumenti di taglio e formatura:Frese, frese a creatore e inserti rivestiti con TiAlN/TiN per prolungare la durata dell'utensile del 200% - 400% durante la lavorazione a secco.

Componenti automobilistici:Fasce elastiche, spinotti degli iniettori e punterie rivestite con CrN/DLC per ridurre l'attrito e i graffi sui bordi.

Dispositivi Medici:Viti ortopediche, lame chirurgiche e monconi dentali che utilizzano TiN/ZrN per biocompatibilità e resistenza alla corrosione.

Hardware industriale:Mold cavities and precision gears requiring high surface hardness (>3000 HV).

Dimensionamento della camera:Diametri interni su misura e profili di altezza adattati a volumi di lotti specifici o pezzi di grandi dimensioni.

Disposizione del catodo:Da 4 a 12 slot sorgente arco configurabili posizionati simmetricamente per garantire la distribuzione dello spessore entro +/- 8%.

Integrazione dei bias:Integrazione ibrida HPPMS (pulsed magnetron sputtering) ad alta potenza opzionale insieme a sorgenti ad arco catodico standard.

Automazione:Integrazione con bracci di carico automatizzati e sistemi di esecuzione della produzione SCADA.

Ispezione del materiale:Spectrographic analysis verifying raw target metallic purity (>= 99.95%).

Prove strutturali:Verifica dimensionale CMM delle camere e prova di pressione idrostatica dei canali di raffreddamento.

Test di accettazione in fabbrica (FAT):Test di funzionamento a secco continuo di 72-ore-che copre la rotazione meccanica, le curve di svuotamento e la stabilità termica.

Verifica del rivestimento:Coupon di prova valutati tramite test di usura pin-on-disco, indentazione Rockwell e analisi dello spessore FESEM-sezione trasversale.

Preparazione del sito:Documentazione tecnica dettagliata per i limiti di carico del pavimento, le portate dell'acqua di raffreddamento e i requisiti delle sbarre elettriche.

Messa in servizio:Installazione in-luogo, calibrazione del vuoto e consegna delle ricette del processo di base da parte dei tecnici sul campo.

Formazione degli operatori:Programmi strutturati che coprono la manutenzione ordinaria, la sostituzione dei target, la ricerca delle perdite e la risoluzione dei problemi di base del PLC.

Supporto del ciclo di vita:Integrazione dell'interfaccia diagnostica remota per la registrazione dei parametri in tempo reale-e un rapido isolamento degli errori.