Apparecchiatura a film sottile multi-Arc Ion

Questo sistema di placcatura ionica multi-arco utilizza l'evaporazione dell'arco catodico per depositare rivestimenti duri densi e ad alta-adesione e pellicole sottili funzionali. Creando un arco ad alta-corrente e bassa-tensione su bersagli catodici solidi, il materiale viene vaporizzato e ionizzato istantaneamente in un ambiente ad alto-vuoto. Combinato con gas reattivi (N2, O2 o C2H2), il sistema sintetizza rivestimenti composti stechiometrici direttamente su substrati metallici o non-metallici. Progettata per la produzione industriale continua, l'architettura garantisce una propagazione stabile dell'arco, un controllo stechiometrico preciso e prestazioni ripetibili della pellicola da batch a batch.

Tecnologia ad arco catodico filtrato:Dotato di guida del campo magnetico e condotti di filtraggio delle macro-particelle (goccioline) per eliminare i difetti superficiali, ottenendo finiture ultra-lisce per componenti di precisione.

Controllo del gas reattivo a circuito chiuso-:I controllori di flusso di massa (MFC) legati alla pressione totale e al feedback dell'emissione ottica mantengono pressioni parziali stabili durante la sintesi del composto reattivo.

Azionamento planetario multi-asse:Gli assi di rotazione e rivoluzione indipendenti garantiscono un bombardamento ionico e una distribuzione uniforme dello spessore del rivestimento su geometrie tridimensionali complesse.

Impianto idraulico per vuoto modulare:I collettori in acciaio inossidabile elettrolucidato-standard ISO-riducono al minimo il degassamento e semplificano gli intervalli di manutenzione ordinaria.

Tracciabilità dei dati dei lotti:Registrazione automatizzata della pressione della camera, della tensione di polarizzazione del substrato, della corrente dell'arco e delle portate del gas per un controllo di qualità completo.

Il sottosistema del vuoto- è progettato per cicli rapidi e una gestione efficace dei sottoprodotti del processo:

Fase di sgrossatura:Pompe rotative a palette o pompe a vite a secco abbinate a soffianti Roots per la generazione di vuoto spinto senza olio-.

Stadio di alto vuoto:Pompe a diffusione con trappole fredde ad azoto liquido o pompe turbo-molecolari (TMP) ad alta produttività, selezionate in base ai requisiti della camera bianca e ai target di durata del ciclo.

Valvole e misuratori:Valvole a saracinesca pneumatiche e valvole di isolamento ad alta-affidabilità. Misurazione del vuoto a gamma completa- utilizzando i misuratori Pirani e di ionizzazione a catodo caldo integrati nel PLC di sicurezza dell'interblocco.

Catodi di evaporazione
Metalli puri:Leghe di Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl, acciaio inossidabile.

Leghe/Composti:Bersagli sinterizzati personalizzati formulati per durezza specializzata, coefficienti di attrito e resistenza all'ossidazione.

Materiali del substrato
Acciai per utensili:Acciaio ad alta-rapidità (HSS), inserti in carburo di tungsteno, acciai per stampi per lavorazione a freddo/caldo.

Metalli ingegneristici:Leghe di titanio, acciaio inossidabile strutturale, alluminio (utilizzando un pre-trattamento adeguato).

Ceramica Tecnica:Ceramiche industriali selezionate che richiedono preparazione dell'interfaccia conduttiva.

Strumenti di taglio e formatura
Tipi di rivestimento:TiN, TiAlN, AlTiN, CrN.

Impatto sulle prestazioni:Aumenta significativamente la durezza superficiale (fino a 3000+ HV), riduce i coefficienti di attrito e resiste all'ossidazione termica. Dimostrato di prolungare la durata operativa di punte, frese, frese a creatore e matrici per stampaggio in condizioni di lavorazione ad alta-velocità.

Componenti automobilistici
Applicazioni:Fasce elastiche, punterie, parti di iniezione del carburante e finiture esterne decorative o funzionali che richiedono resistenza anti- all'usura e alla corrosione.

Strumenti medici
Applicazioni:Rivestimenti biocompatibili TiN e TiCN su bisturi chirurgici, viti ossee e impianti dentali per migliorare la passivazione superficiale e la resistenza all'usura.

I sistemi sono progettati per soddisfare specifici parametri di produzione e parametri di processo:

Dimensionamento della camera:Diametri interni e altezze personalizzati su misura per le dimensioni massime dei lotti e i pesi delle attrezzature.

Configurazione della sorgente:Combinazioni ibride di sorgenti ad arco e catodi sputtering magnetron planari per architetture multistrato e nanocomposite.

Livello di automazione:Celle autonome semi-automatizzate o linee di produzione completamente integrate compatibili con sistemi di caricamento robotizzati.

Test di tenuta dell'elio:Ogni camera a vuoto viene sottoposta a severi test di tenuta con spettrometro di massa prima del rilascio in fabbrica (tasso di perdita<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Sicurezza elettrica:Armadi di controllo costruiti secondo gli standard di conformità CE/UL con circuiti di sicurezza completamente interbloccati.

Test di accettazione in fabbrica (FAT):I test pre-spedizione verificano la pressione finale, l'uniformità della temperatura del riscaldatore e la stabilità dell'innesco dell'arco prolungato durante un ciclo continuo di 24 ore.

Linee guida per la preparazione del sito:Documentazione completa sul layout delle utenze che copre la portata/pressione dell'acqua di raffreddamento, l'aria compressa, la ventilazione di scarico e le cadute di potenza.

Messa in-commissione in loco:Ingegneri meccanici ed esperti di processo inviati per l'allineamento strutturale, la verifica delle perdite di vuoto, il collegamento elettrico-e la consegna delle ricette di base.

Formazione degli operatori:Formazione pratica-che copre la manutenzione ordinaria, la sostituzione del target del catodo e la risoluzione dei problemi del PLC.

Diagnostica remota:Integrazione sicura del modulo VPN per aggiornamenti software in tempo reale-, analisi dei parametri e diagnosi dei guasti con risposta-rapida.