Sistema a film sottile Multi-Arc Ion

Il sistema industriale Multi-Arc Ion Thin Film utilizza l'evaporazione ad arco catodico per depositare rivestimenti ceramici e metallici densi e ad alta-adesione su substrati di metallo e leghe. Vaporizzando materiali catodici solidi in un ambiente sotto vuoto tramite archi elettrici ad alta-corrente e bassa-tensione, il sistema ionizza il vapore metallico interagendo con i gas reattivi (come azoto, acetilene o ossigeno) per formare pellicole di composti stechiometrici.

Progettata per ambienti di produzione continua, questa piattaforma ospita attrezzature dedicate per la lavorazione in batch di utensili da taglio di precisione, componenti automobilistici e hardware industriale resistente all'usura-.

Catodi dell'arco direzionale magnetico-:I campi magnetici-a circuito chiuso guidano la traiettoria del punto dell'arco catodico attraverso la superficie target, aumentando i tassi di utilizzo del target fino a oltre il 60% e riducendo la generazione di macro-goccioline.

Bias di soppressione rapida dell'arco:Gli alimentatori di polarizzazione pulsata ad alta-frequenza incorporano circuiti di estinzione rapida dell'arco-per evitare che i micro-archi localizzati danneggino le superfici del substrato durante la deposizione reattiva.

Architettura di deposizione in doppia{{0}modalità:L'architettura del sistema supporta la rapida integrazione di catodi sbilanciati di magnetron sputtering (UMS) insieme a sorgenti ad arco standard per la deposizione di strati ibridi (ad esempio, strati di gradiente).

Controllo automatizzato del processo:PLC abbinato a PC industriale che esegue software di controllo basato su ricette-, registrazione della pressione della camera, delle portate di massa del gas (MFC), polarizzazione del substrato e corrente dell'arco in tempo reale per la tracciabilità dei lotti.

Valvole pneumatiche per vuoto:Le valvole a saracinesca e le valvole ad angolo ad azionamento pneumatico isolano le sezioni della camera, riducendo al minimo i tempi di fermo per manutenzione e i cicli di pompaggio-.

L'evacuazione del sistema utilizza una configurazione a più-stadi progettata per raggiungere la pressione operativa entro 15 minuti:

Fase di sgrossatura:Le pompe meccaniche a palette rotative a doppio-stadio rimuovono l'aria atmosferica primaria fino a 10 Pa.

Fase intermedia:I soffiatori Roots accelerano lo spostamento volumetrico per colmare l'intervallo di pressioni incrociate.

Stadio di alto vuoto:Le pompe a diffusione di olio o le pompe criogeniche/molecolari raggiungono una pressione base finale di 5,0 x 10^-3 Pa prima del riempimento del gas e della pulizia ionica.

Sottosistema di consegna del gas:I controllori di flusso di massa (MFC) multicanale misurano gas di processo ad elevata purezza (Ar, N2, C2H2, O2) con una tolleranza di stabilità del flusso pari a +/- 1% del fondo scala.

Obiettivi catodici
Bersagli metallici:Ti, Cr, Al, Zr, TiAl (rapporti atomici 50/50, 67/33), WC, acciaio inossidabile.

Standard di purezza:>= 99.99% sottovuoto fuso e arrotolato.

Materiali del substrato
Acciai per utensili:H13, SKD11, M2, D2 (Pre-trattato e temperato al di sotto della temperatura di deposizione del rivestimento).

Carburi:Carburi di tungsteno cementati (WC-Co).

Leghe ingegneristiche:Leghe di titanio (TC4), acciaio inossidabile (304/316) e leghe di rame (a seconda del dispositivo).

Utensili da taglio di precisione:La deposizione di rivestimenti TiAlN e AlCrN su frese e creatori in carburo di tungsteno cementato raggiunge una durezza superficiale di 3300 - 3500 HV. I dati di convalida sul campo mostrano un'estensione di 2,5 volte della durata dell'usura dell'utensile in condizioni di lavorazione a secco ad alta-velocità.

Stampi e matrici:Indurimento superficiale di stampi a iniezione di plastica H13 e SKD11 e matrici per stampaggio per prevenire affaticamento termico, usura adesiva e grippaggio.

Componenti automobilistici:Rivestimenti DLC (Diamond{2}}Like Carbon) e CrN a basso-attrito e-resistenti all'usura applicati alle fasce elastiche dei pistoni, ai perni degli iniettori di carburante e agli alzavalvole per ridurre i coefficienti di attrito limite inferiori a 0,1.

Hardware funzionale:Finiture decorative ma resistenti all'usura-(TiCN, ZrN) per raccordi sanitari industriali e componenti meccanici di fascia alta-.

Le configurazioni ingegneristiche si adattano ai vincoli della struttura e alla geometria dei componenti:

Geometria della camera:Configurazioni con porta di caricamento di tipo fossa verticale-o con porta di caricamento frontale orizzontale-.

Attrezzature per il jigging:Dispositivi planetari, a rotazione singola-o personalizzati su misura per le geometrie complesse dei pezzi 3D.

Selezione dello stack di pompaggio:Opzioni di configurazione per pacchetti di diffusione dell'olio, turbomolecolari o criopompe a seconda degli standard delle camere bianche e degli obiettivi di tempo di inattività della pompa-.

Integrazione gas ed elettricità:Trasformatori elettrici personalizzati per standard di rete regionali (ad es. 480 V/60 Hz, 415 V/50 Hz) e integrazione con sistemi di lavaggio centralizzati dei gas di scarico lato cliente-.

Ogni sistema di deposizione è sottoposto a severi controlli di qualità prima della spedizione:

Rilevamento perdite di elio:Test di tenuta con elio mediante spettrometro di massa eseguito su tutte le camere a vuoto e sui cordoni di saldatura (tasso di perdita<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Verifica della sicurezza elettrica:Test di resistenza di isolamento, continuità di messa a terra e resistenza dielettrica ad alta-tensione conformi agli standard elettrici CE/IEC.

Prova di funzionamento funzionale:Ciclo a secco continuo di 72 ore di meccanismi di rotazione meccanica, valvole pneumatiche e sensori di interblocco dell'acqua di raffreddamento.

Test di accettazione del processo:Prova di rivestimento eseguita presso lo stabilimento di produzione per verificare l'uniformità, la durezza e l'adesione dello spessore del film (test di graffio/indentazione Rockwell).

Linee guida per la preparazione del sito:Documentazione completa sulla disposizione della struttura che descrive in dettaglio i requisiti di carico del pavimento, la posizione dei condotti di scarico, le dimensioni del collettore dell'acqua e i punti di consegna dell'elettricità, consegnata 4 settimane prima della spedizione.

Messa in servizio:Installazione in loco, calibrazione del vuoto e collegamento elettrico-eseguiti da tecnici dell'assistenza sul campo.

Consegna della ricetta di processo:Ricette di rivestimento di base (TiN, TiAlN) sviluppate, testate e trasferite durante l'accettazione in fabbrica o la messa in funzione-in loco.

Pezzi di ricambio e diagnostica:Modulo diagnostico remoto integrato nel PLC per una rapida risoluzione dei problemi, supportato dallo stoccaggio locale di guarnizioni critiche, target catodici e piastre di schermatura.