Attrezzature per la metallizzazione sotto vuoto

Le apparecchiature di metallizzazione sotto vuoto adottano un design della struttura a doppia camera, camera di processo + camera di carico/scarico, che rappresenta la perfetta integrazione tra affidabilità del processo ed efficienza del processo. L'attrezzatura per la metallizzazione sotto vuoto è dotata di una sorgente di pulizia a fascio ionico ad alta energia, diversi set di sorgenti di sputtering magnetron e un affidabile sistema di propulsione servoelettromagnetica, l'attrezzatura per la metallizzazione sotto vuoto è altamente modulare, stabile, facile da usare e di facile manutenzione.

express Interfaccia universale modulare, direttamente compatibile con diverse forme di target catodici, che consente impulsi CC, frequenza intermedia, modalità di lavoro RF, forte compatibilità;

express Campo magnetico e percorso del gas di processo appositamente progettati, migliorano efficacemente il tasso di utilizzo target e la stabilità del processo a lungo-termine;

design della struttura》a doppia camera, non solo per garantire la stabilità e la coerenza del processo, ma anche per ridurre notevolmente i tempi di trattamento del pre-rivestimento e migliorare l'efficienza della produzione;

express Il sistema operativo di processo intelligente automatico-progettato fornisce funzionalità di modifica e chiamata delle formule di processo complete e convenienti, dotato di un sistema di monitoraggio dei parametri di processo in tempo reale-che consente il controllo remoto online.