Sistema a film sottile di evaporazione ad arco

Il sistema a film sottile per evaporazione ad arco catodico industriale è progettato per la deposizione ad alta- velocità di rivestimenti composti metallici, leghe e ceramici densi e fortemente aderenti. Funzionando tramite una scarica ad arco a bassa-tensione e alta-corrente su bersagli catodici solidi, il sistema vaporizza il materiale direttamente in uno stato di plasma altamente ionizzato (rapporto di ioni metallici del 40% - 80%). Ciò spinge gli ioni energetici nell'interfaccia del substrato, producendo un'adesione del rivestimento superiore rispetto all'evaporazione termica standard o ai metodi convenzionali di sputtering.

Realizzato per ambienti di produzione e centri di ricerca sui materiali avanzati, il sistema deposita strati tribologici duri e resistenti all'usura-come TiN, TiAlN, CrN e AlCrN-su utensili da taglio, stampi di formatura e componenti meccanici di precisione. La camera a vuoto modulare consente configurazioni scalabili multi-catodo e rotazione planetaria automatizzata a 3-assi per garantire la ripetibilità da batch-a batch.

Tecnologia del catodo di orientamento magnetico-:I campi magnetici-a circuito chiuso spazzano il punto del catodo sulla superficie del bersaglio, aumentando i tassi di utilizzo del bersaglio oltre il 55% ed eliminando la formazione di crateri localizzati sul bersaglio.

Plasma ad alto tasso di ionizzazioneGenera rapporti di ioni metallici fino all'80%, fornendo un'elevata energia cinetica per la crescita di una pellicola densa e una diffusione metallurgica profonda all'interfaccia del substrato.

Deposizione multistrato-programmabile:Il PLC industriale combinato con un'architettura di controllo HMI esegue il sequenziamento automatizzato di gas reattivi (N2, O2, C2H2) per architetture di gradiente funzionale e rivestimento nanostrato.

Incisione al plasma in-situ:Integra il bombardamento di ioni metallici e le fasi di pulizia sbilanciata del magnetron prima della deposizione per rimuovere gli ossidi nativi e i contaminanti superficiali.

Il sottosistema del vuoto è progettato per cicli di pompaggio-down rapidi e una pressione operativa stabile con ingresso continuo di gas reattivo:

Fase di sgrossatura e radicazione:Pompa rotativa a palette o a vite a secco ad azionamento diretto- abbinata a un ventilatore Roots, che evacua la camera dalla pressione atmosferica a 10 Pa entro 5 minuti.

Stadio di alto vuoto:Pompa turbomolecolare a levitazione magnetica che fornisce un'elevata velocità di pompaggio volumetrico per vapore acqueo e gas residui, garantendo obiettivi di pressione di base inferiori a 5,0 x 10^-4 Pa.

Valvole e misuratori:Valvole a saracinesca pneumatiche e valvole ad angolo elettro-pneumatiche integrate con-gamma completa di manometri combinati Pirani/Penning per interblocchi di sicurezza automatizzati.

Regolazione della pressione:Feedback del manometro capacitivo a circuito chiuso-collegato a controller di flusso di massa (MFC) ad alta-precisione per stabilizzare la pressione parziale del gas reattivo durante la deposizione reattiva.

Materiali di destinazione
Metalli puri:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Nb.

Obiettivi in ​​lega:TiAl (50/50, 33/67), TiSi, CrAl.

Carbonio:Bersagli in grafite per la deposizione ibrida di diamante-come carbonio (DLC).

Compatibilità del substrato
Metalli duri/Carburi cementati:WC-Inserti da taglio, frese e utensili per formatura.

Acciai-rapidi (HSS):Maschi, punte elicoidali e brocce.

Acciai tecnici:Acciaio inossidabile, leghe di titanio e superleghe a base di-nichel ad alta temperatura-.

Ceramica strutturale:Componenti di allumina e nitruro di silicio che richiedono modifiche tribologiche.

Strumenti di taglio e lavorazione:Deposizione di rivestimenti TiAlN e AlCrN sugli inserti in metallo duro per aumentare la resistenza all'ossidazione fino a 900 °C e prolungare la durata dell'utensile durante il taglio a secco ad alta-velocità.

Componenti automobilistici:Rivestimento duro di fasce elastiche, alzavalvole e perni di iniezione del carburante per ridurre i coefficienti di attrito limite inferiori a 0,1 e prevenire rigature.

Stampi e matrici:Applicazione di pellicole CrN e TiCN su stampi per iniezione plastica e matrici per stampaggio metalli per prevenire l'usura adesiva e il grippaggio del materiale.

Hardware aerospaziale:Rivestimenti protettivi resistenti all'erosione-su dispositivi di fissaggio di precisione e componenti di compressori che operano in ambienti corrosivi.

Geometria della camera:Design delle porte di caricamento in stile fossa verticale o di caricamento frontale orizzontale-su misura per i layout del negozio-.

Integrazione della sorgente ibrida:Configurazioni a doppia-tecnologia che combinano evaporatori ad arco catodico con catodi UBMS (squilibrati magnetron sputtering) o cannoni ionici lineari.

Livello di automazione:Opzioni di integrazione in fabbrica, tra cui bracci di carico robotizzati automatizzati o montaggio su parete divisoria per camera bianca.

Elettronica di potenza:Generatori di polarizzazione pulsata personalizzati ottimizzati per substrati isolanti o materiali di base-sensibili alla temperatura.

Rilevamento perdite:Il test di tenuta con spettrometro di massa ad elio è stato eseguito su tutte le camere a vuoto e sui cordoni di saldatura, mantenendo i tassi di perdita totali inferiori a 1,0 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Verifica della sicurezza elettrica:Test di resistenza di isolamento e continuità di terra conformi alle norme CE e di sicurezza elettrica.

Prova di funzionamento funzionale:Test a ciclo a secco automatizzato continuo di 72 ore delle trasmissioni meccaniche di rotazione, della sequenza delle valvole e degli interblocchi del flusso dell'acqua di raffreddamento.

Verifica del processo (FAT):Deposizione facoltativa di rivestimenti TiN di riferimento sui coupon di prova forniti dal cliente-per verificare l'uniformità dello spessore del film, la nano{1}durezza e la forza di adesione ai graffi prima dell'imballaggio.

Guida alla preparazione del sito:Documentazione tecnica dettagliata della struttura riguardante i limiti di carico del pavimento, i condotti di scarico, le specifiche dell'acqua refrigerata e le prese elettriche fornita 4 settimane prima della consegna.

Messa in funzione-sul posto:I tecnici dell'assistenza sul campo supervisionano il posizionamento meccanico, i collegamenti delle utenze, la sigillatura del vuoto e l'integrazione elettrica.

Formazione sul processo:Formazione pratica-per gli operatori riguardante la manutenzione della camera, i protocolli di sostituzione dei target, la risoluzione dei problemi del vuoto e la gestione delle ricette.

Diagnostica remota:Gateway VPN industriale sicuro integrato nel quadro elettrico per aggiornamenti software remoti, analisi della registrazione dei parametri e diagnosi dei guasti.