Attrezzatura per la deposizione mediante evaporazione dell'arco

Piattaforma di deposizione fisica in fase di vapore (PVD) industriale progettata per la sintesi ad alta-velocità di rivestimenti duri densi,-resistenti all'usura e funzionali. Il mantenimento di una scarica ad arco catodico ad alta-corrente e bassa-tensione su superfici target solide genera un flusso di plasma ionizzato compreso tra l'80% e quasi il 100%.

Combinata con la polarizzazione negativa programmabile del substrato, questa elevata energia cinetica guida la miscelazione interfacciale su scala atomica-, ottenendo un'adesione superiore della pellicola e una porosità colonnare pari a zero. L'architettura della camera supporta configurazioni modulari multi-catodico per la deposizione automatizzata di nanolaminati a-strato singolo, multi-strato-e rivestimenti a gradiente stechiometrico (TiN, TiAlN, CrN, TiCN).

Alto tasso di ionizzazione:La vaporizzazione catodica diretta converte il flusso metallico in ioni ad alta-densità, promuovendo strutture a grana densa senza micro-vuoti.

Sterzo magnetico attivo:Bobine elettromagnetiche programmabili spostano il punto dell'arco sulle facce del bersaglio, sopprimendo la formazione di crateri localizzati e aumentando l'utilizzo del materiale del bersaglio oltre il 60%.

Controllo dinamico del gas:I controllori di flusso di massa (MFC) a circuito chiuso-regolano l'iniezione di gas reattivo (N2, O2, C2H2) tramite feedback della pressione parziale in tempo reale-.

Sinergia multi-fonte:Le pareti della camera ospitano layout di target ibridi, consentendo la deposizione sequenziale ininterrotta di strati ceramici multi-componente in un unico ciclo di vuoto.

Gruppo Sgrossatura e Radici:Pompa rotativa a palette-a trasmissione diretta abbinata a un ventilatore Roots-di cilindrata elevata per gestire carichi di gas elevati durante il trattamento reattivo.

Stadio di alto vuoto:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 L/s) accoppiato tramite una valvola a saracinesca pneumatica ad alta-conduttanza.

Strumentazione per vuoto:Configurazione a doppio manometro Pirani e catodo freddo interbloccati- che monitora gli intervalli di pressione totale dall'atmosfera fino a 10^-6 Pa.

Integrità delle perdite:Le flange sigillate in elastomero-con raffreddamento con camicia-ad acqua mantengono i tassi di perdita del sistema inferiori a 1,0 x 10^-9 Pa*m3/s.

Materiali target del catodo
Metalli e leghe di transizione:Titanio (Ti), cromo (Cr), zirconio (Zr), alluminio (Al), titanio-alluminio (TiAl 50/50, 33/67), tungsteno (W).

Non-metallici:Grafite (C) di elevata purezza-per strati di diamante-come carbonio (DLC) e carburo.

Substrati industriali
Acciai e carburi per utensili:Acciaio ad alta-rapidità (HSS), carburi cementati (WC-Co).

Leghe strutturali:Acciai inossidabili austenitici/martensitici, leghe di titanio (TC4), superleghe a base di nichel- (Inconel).

Utensili da taglio di precisione:Deposizione di TiAlN e AlTiN su trapani, frese e creatori di ingranaggi per aumentare la durezza superficiale fino a 3300-3500 HV ed aumentare la resistenza all'ossidazione termica fino a 800 gradi.

Ingegneria automobilistica:Rivestimenti a basso-attrito e resistenti all'usura-su componenti di iniezione del carburante, fasce elastiche e punterie.

Stampi e matrici:Deposizione di nitruro di cromo (CrN) su stampi a iniezione di plastica per prevenire l'usura dell'adesivo, la micro-saldatura e l'adesione della resina.

Dimensionamento della camera:Modifiche geometriche su misura per pannelli architettonici di grandi dimensioni o caroselli di piccoli utensili ad alta-rendimento.

Ibridazione della fonte:Integrazione di sorgenti di arco catodico con sputtering di magnetron sbilanciato (UBM) o catodi HiPIMS in un corpo unificato.

Interfacce di automazione:Integrazione MES di fabbrica tramite protocolli OPC-UA insieme a opzioni di portello di caricamento automatizzato.

Verifica della perdita di elio:Controllo perdite tramite spettrometro di massa eseguito su tutte le saldature e tenute sotto vuoto.

Verifica della sicurezza elettrica:Test di isolamento dell'alta tensione, controlli di continuità della messa a terra e verifica del circuito di arresto di emergenza-.

Test di burn-in di 72-ore:Ciclo continuo di funzionamento a secco-di azionamenti meccanici di rotazione, flussostati dell'acqua e sequenze di valvole PLC prima dello smontaggio.

Test di accettazione in fabbrica (FAT):Eseguito in loco-per convalidare i livelli di vuoto di base, la stabilità dell'innesco dell'arco e la distribuzione dello spessore di base sui coupon di calibrazione.

Consegna dei requisiti della struttura:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 MPa, 15-25 gradi), aspirazione dei gas di scarico e cadute di alimentazione (trifase, 380 V/480 V).

Messa in campo:Supervisione in-luogo da parte di ingegneri meccanici ed elettrici sul campo che si occupano di allineamento, collegamento e lotti di prova.

Formazione degli operatori:Istruzioni strutturate sulla configurazione della ricetta software, sulle procedure di scambio del target catodico e sulla manutenzione preventiva del vuoto.

Diagnostica remota:Gateway VPN industriale sicuro integrato nel pannello di controllo per telemetria software e supporto per la risoluzione dei problemi.