Descrizione dell'attrezzatura:

· Introduzione all'attrezzatura:

La macchina di rivestimento sputtering Magnetron è una tecnologia di deposizione fisica da vapore che utilizza il campo magnetico e l'interazione ionica per preparare film sottili. La macchina di rivestimento Magnetron Sputtering utilizza la comprovata tecnologia di base dell'azienda: Ionbeam Cleaning + sorgente di sputtering Magnetron. Nella camera a vuoto, l'ambiente raggiunge uno stato di alto vuoto aspirando. Quindi, mediante scarica luminescente o radiazione a radiofrequenza, la superficie bersaglio viene attivata per ionizzare gli atomi o le molecole del gas di lavoro e formare un plasma. Quindi, applicando un campo magnetico, gli ioni vengono controllati dal campo magnetico, aumentando la probabilità di colpire la superficie del bersaglio. Il fascio ionico collide con la superficie del bersaglio, provocando lo spruzzo degli atomi o delle molecole sul bersaglio e il deposito sulla superficie del substrato a una velocità maggiore per formare una pellicola. L'energia del fascio ionico può essere regolata e la struttura e le proprietà della pellicola possono essere modificate controllando l'energia e la densità del fascio ionico. La macchina per rivestimento sputtering magnetron adotta il controllo automatico completo, l'ottimizzazione dell'integrazione modulare, l'elevata potenza, la buona stabilità, il funzionamento semplice e la facile manutenzione. La macchina per sputtering magnetron è adatta per lo sviluppo di rivestimenti e i servizi di rivestimento in lotti.

· Vantaggi dell'attrezzatura:

esprimere la velocità di deposizione veloce;

espresso Basso aumento della temperatura del substrato;

esprimere Il danno allo strato di membrana è piccolo;

esprimere Buon legame alla membrana;

esprimere Elevata purezza del film, buona densità, buona uniformità del film;

esprimere Buona ripetibilità;

espresso Adatto a una varietà di materiali;

esprimere Facile da realizzare industrializzazione;

express La composizione dello strato di pellicola è simile a quella del materiale target.

espresso Il rivestimento della pellicola è buono;

Express La polarizzazione negativa viene applicata al pezzo;

esprimere la tecnica del bersaglio composito.

Campo di applicazione:

Microelettronica express: la tecnologia di rivestimento sputtering magnetron viene utilizzata nel campo della microelettronica per la preparazione di fili metallici, dissipatori di calore metallici, maschere litografiche e altri componenti chiave;

express Campo ottico: nel campo dell'ottica, la tecnologia di rivestimento sputtering magnetron viene utilizzata per produrre componenti ottici come lenti, filtri, specchi, ecc.

Campo chimico espresso: la tecnologia di rivestimento sputtering magnetron viene utilizzata per preparare catalizzatori, sensori e altri componenti chimici;

Campo della lavorazione espressa: nel campo della lavorazione, la tecnologia viene utilizzata per migliorare la durezza superficiale, la resistenza all'usura e la resistenza alla corrosione delle parti meccaniche;

Campo della decorazione espressa: la tecnologia di rivestimento sputtering magnetron viene utilizzata per produrre una varietà di pellicole decorative belle e durevoli;

express Elettronica flessibile: la tecnologia di rivestimento sputtering magnetron svolge un ruolo importante nei display flessibili, negli e-book, nelle celle solari flessibili e in altri prodotti emergenti;

express Protezione energetica e ambientale: la tecnologia di rivestimento sputtering magnetron viene utilizzata per preparare film per il riscaldamento solare, celle solari a film sottile e così via.

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